作為微納加工領域的核心設備，反應離子刻蝕機（RIE）的精準性源于其“化學作用與物理作用協(xié)同”原理——這一原理打破了傳統(tǒng)刻蝕技術“精度不足”或“效率低下”的單一局限，通過雙重機制的深度融合，實現(xiàn)對材料的高精度、高選擇性刻蝕，成為集成電路、MEMS等制造領域的關鍵支撐。?

　　從原理的核心環(huán)節(jié)來看，反應離子刻蝕機的工作流程可分為“等離子體生成-化學反應刻蝕-物理離子轟擊-產(chǎn)物脫附”四步。第一步，設備將特定工藝氣體通入密閉的真空反應腔體，通過射頻電源向腔體施加電場；電場能量使氣體分子電離，形成由活性自由基、電子、正離子構成的等離子體——這種“物質(zhì)第四態(tài)”具有高化學活性，為后續(xù)刻蝕提供基礎。?

　　第二步是“化學反應刻蝕”。等離子體中的活性自由基會快速擴散至待刻蝕材料表面，與材料原子發(fā)生特異性化學反應：例如，氟自由基與硅反應生成易揮發(fā)的SiF?氣體，氯自由基與鋁反應生成AlCl?氣體。這一步的關鍵在于“選擇性”——通過選擇適配的工藝氣體，可確保活性自由基僅與目標材料反應，而不損傷表面的掩膜層，從而實現(xiàn)圖形化刻蝕。?
 

　　第三步是“物理離子轟擊”，這是反應離子刻蝕機區(qū)別于普通等離子體刻蝕機的核心。在射頻電場作用下，等離子體中的正離子會被加速并垂直轟擊材料表面：一方面，離子的沖擊力能打破材料表面的化學鍵，輔助活性自由基與材料的反應，提升刻蝕速率；另一方面，垂直方向的轟擊可嚴格控制刻蝕方向，避免傳統(tǒng)濕法刻蝕中橫向腐蝕的問題，實現(xiàn)各向異性刻蝕，滿足微納器件對精細圖形的要求。?

　　最后一步是“產(chǎn)物脫附”。化學反應生成的氣態(tài)產(chǎn)物會在真空系統(tǒng)的抽氣作用下，快速從反應腔體中排出，避免產(chǎn)物附著在材料表面導致刻蝕中斷或精度下降。整個過程中，化學作用保證了刻蝕的選擇性和效率，物理作用保證了刻蝕的精度和方向性，二者協(xié)同形成“1+1>2”的效果——例如在集成電路制造中，該原理可實現(xiàn)線寬5nm以下的圖形刻蝕，刻蝕深度均勻性控制在±3%以內(nèi)。?

　　我們的反應離子刻蝕機系列通過對原理環(huán)節(jié)的精準把控，優(yōu)化了射頻電源的功率穩(wěn)定性、腔體的真空度控制、氣體流量的精準配比系統(tǒng)，確保每一步工藝都符合原理設計的狀態(tài)，為客戶提供穩(wěn)定、高效的微納刻蝕解決方案，助力器件制造的技術突破。?